利用可能设备
22. マスクレス露光装置
34. 深堀りドライエッチング装置
81. 手動露光?ボンドアライメント装置 （独）ズース?マイクロテック社製 SUSS MA/BA Gen3 SPEC-KU
详细
| 设备番号 | 22 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | マスクレス露光装置 |
| メーカー名、型番等 | ナノシステムソリューションズ製 |
| 购入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
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| 设置场所 | 桂キャンパス |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：075-753-5231 贰-尘补颈濒：办测辞诲补颈-丑耻产＊蝉补肠颈.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫&苍产蝉辫;（＊を蔼に変えてください） |
| 関连リンク | |
| 申请书 | 上記リンクに掲載している「京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 設備利用管理システム」にアクセスしてください。 |
| 写真 |
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| 设备番号 | 34 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 深堀りドライエッチング装置 |
| メーカー名、型番等 | サムコ製 装置本体 RIE-800iPB-KU |
| 购入年月 | 平成22年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 | 基板サイズ：φ8インチまで。最大55μ尘/尘颈苍の厂颈の高速エッチング。フォトレジストマスクにて高い选択比のエッチングが可能。 |
| 设置场所 | 桂キャンパス |
| 问い合わせ先 | 罢贰尝：075-753-5231 贰-尘补颈濒：办测辞诲补颈-丑耻产＊蝉补肠颈.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫&苍产蝉辫;（＊を蔼に変えてください） |
| 関连リンク | |
| 申请书 | 上記リンクに掲載している「京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 設備利用管理システム」にアクセスしてください。 |
| 写真 |
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| 设备番号 | 81 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 设备名称 | 手動露光?ボンドアライメント装置 （独）ズース?マイクロテック社製 SUSS MA/BA Gen3 SPEC-KU |
| メーカー名、型番等 | （独）ズース?マイクロテック社 手動露光?ボンドアライメント装置 SUSS MA/BA Gen3 SPEC-KU |
| 购入年月 | 平成22年3月 |
| おもな仕様?机能?特徴 |
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| 设置场所 | 桂キャンパス |
| 问い合わせ先 | 罢别濒：075-753-5231 贰-尘补颈濒：办测辞诲补颈-丑耻产＊蝉补肠颈.办测辞迟辞-耻.补肠.箩辫（＊を蔼に変えてください） |
| 関连リンク | |
| 申请书 | 上記リンクに掲載している「京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 設備利用管理システム」にアクセスしてください。 |
| 写真 |
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